蛋白质芯片的制造方法

摘要

本发明涉及一种蛋白质芯片的制造方法，实质上是一种活性蛋白质分子在硅表面的固定方法，该方法可以应用于DNA芯片和蛋白质芯片的制造，属于生物传感技术领域。本发明方法的特征在于：首先采用标准的半导体工艺清洗和热氧化硅片；然后使用γ-氨基-丙基-三乙基硅烷(γ-APTES)处理硅表面，再用采用原子力显微镜(AFM)纳米刻蚀技术在硅片表面刻蚀纳米图形；最后将加工好的纳米图形位置的硅片浸入蛋白质溶液，使蛋白质分子固定在非刻蚀图形位置的硅片表面上，而刻蚀过的硅片表面没有蛋白质分子。本发明方法的优点是能有效地保证蛋白质分子的活性，且具有超高蛋白质分子集成度。

主权项

1.一种蛋白质芯片的制造方法，其特征在于具有如下各工艺步骤：a.首先采用标准的半导体工艺清洗和热氧化硅片；b.将上述经步骤a处理过的硅片浸入γ-氨基-丙基-三乙基硅烷中，浸泡一定时间使硅片表面带有氨基，对蛋白质分子具有亲和性；c.采用原子力显微镜纳米刻蚀技术在上述经步骤b处理过的硅片表面刻蚀纳米图形；刻蚀的方法是：在原子力显微镜探针于硅表面之间施加电压，移动探针，在硅表面形成一定纳米宽度的图形，使被刻蚀的图形所在位置表面氨基被破坏被除去；d.将上述经步骤c处理过的具有纳米图形的硅片浸入蛋白质溶液，使蛋白质分子固定在非刻蚀图形位置的硅片表面上。