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发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR FORMING DIELECTRIC LAYERS
摘要
申请公布号 KR100541179(B1) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 KR20030006513 申请日期 2003.02.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/205;C23C16/54;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/8242;H01L27/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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