用于制造类金刚石薄膜涂敷的塑料容器的设备及其制造方法

摘要

一种用于DLC薄膜涂敷的塑料容器的生产装置及其生产方法，能同时在多个塑料容器内表面上形成DLC(类金刚石)薄膜，并减小薄膜厚度的变化。一种用于DLC薄膜涂敷的塑料容器的生产装置，用于同时形成多个DLC薄膜，其特征在于包含其中可以独立地平行放置多个塑料容器(7a-7d)的柱状外部电极(3)、分别位于所述被容纳的容器(7a-7d)内的内部电极(9a-9d)、连接于所述外部电极(3)且与一高频负载阻抗匹配的匹配箱(14)，和连接于所述匹配箱的高频电源(15)。

主权项

1.一种同时在多个塑料容器内表面上形成类金刚石薄膜的、用于制造类金刚石薄膜涂敷的塑料容器的设备，包含：柱状外部电极，该电极包括其中可以容纳平行独立排列的多个塑料容器的容纳空间，且是由一个单一柱形体形成的柱状外部电极，其中，每一容纳空间的内壁表面包围在塑料容器外部附近，其中每一容纳空间的中心轴线都与所述柱状外部电极的中心轴线平行，且位于所述柱状外部电极的同一截面的同一圆上，且同类容纳空间等间隔排布；内部电极，分别位于容纳在所述柱状外部电极的容纳空间内的所述多个塑料容器内；源气体导入装置，该装置将源气体导入到所述多个塑料容器的每一个内；匹配箱，用于实现连接于所述柱状外部电极的高频负载的阻抗匹配；连接于所述匹配箱的高频电源。