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发明名称 SECONDARY ELECTRON DETECTOR UNIT FOR A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 EP1614137(A2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 EP20040726840 申请日期 2004.04.09
申请人 POLITECHNIKA WROCLAWSKA 发明人 SLOWKO, WITOLD
分类号 G02B21/00;G12B21/00;H01J37/00;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/244 主分类号 G02B21/00
代理机构 代理人
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