发明名称 METHODS OF FORMING CAPACITORS AND METHODS OF FORMING CAPACITOR DIELECTRIC LAYERS
摘要
申请公布号 KR100542931(B1) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 KR20047008389 申请日期 2004.06.02
申请人 发明人
分类号 H01L27/04;H01L21/02;H01L21/3105;H01L21/314;H01L21/318;H01L21/822;H01L21/8242;H01L27/108 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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