预热反应室

摘要

本发明公开了一种预热反应室，其包括多个用于承载玻璃基板以进行预热制程的插槽结构，该插槽结构由一底板、一盖板、二侧板、一后背板以及一前面板组成，其中在底板的上表面至少设有一长形支撑块，并在二侧板的内侧表面分别至少设有二支撑块。该长形支撑块以及支撑块可将玻璃基板支撑在其上，使得在长形支撑块与玻璃基板之间具有较大的接触面，以提供较大的摩擦阻力，有效防止玻璃基板受到外力而发生滑动。

主权项

1.一种预热反应室，由多个插槽结构组成，且每一个插槽结构用于承载一片玻璃基板，并对该玻璃基板进行预热，该插槽结构包括有：一底板，在该底板的上表面至少设有一用于支撑玻璃基板的长形支撑块；一盖板，该盖板平行对应于所述底板，并设在所述底板的正上方；二侧板，该二侧板设在插槽结构的两侧，该二侧板的上、下侧边分别与所述底板以及盖板相互结合，且该二侧板在其内侧表面上分别至少设有二个用于支撑所述玻璃基板的支撑块；一后背板，该后背板设在插槽结构的后侧，该后背板的上、下侧边分别与所述底板以及盖板相互结合，且其二侧边分别与所述二侧板互相结合；以及一前面板，该前面板设在插槽结构的前侧，其上、下侧边分别与所述底板以及盖板相互结合，且其二侧边分别与所述二侧板相互结合。