| 发明名称 | 有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明属于有机聚合物阵列波导光栅及其制作方法：以单晶硅片为衬底(1)，在硅片上涂覆聚合物下包层材料(2)后进行烘干，然后旋涂聚合物芯层材料(3)；烘干后在芯层材料上蒸发或溅射铝膜(4)，再在铝膜上涂覆光刻胶(5)，用阵列波导光栅掩膜板(7)进行光刻；然后进行氧反应离子刻蚀(9)；刻蚀后在聚合物芯层材料上得到阵列波导光栅的图形，再旋涂聚合物上包层材料(12)，烘干后得到阵列波导光栅。本发明的器件及其制作方法不仅容易控制聚合物芯层(13)和包层材料((2)、(12))的折射率差，而且容易控制每一层材料的厚度；可灵活选择包层和芯层材料，实现优化设计，器件成本低，成品率高，适合大批量生产。 | ||
| 申请公布号 | CN1236335C | 申请公布日期 | 2006.01.11 |
| 申请号 | CN03127171.5 | 申请日期 | 2003.09.22 |
| 申请人 | 吉林大学 | 发明人 | 张大明;崔占臣;赵禹;王菲;马春生;刘式墉 |
| 分类号 | G02B6/124(2006.01) | 主分类号 | G02B6/124(2006.01) |
| 代理机构 | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人 | 张景林;张凯军 |
| 主权项 | 1、有机聚合物阵列波导光栅，依次由硅衬底(1)、下包层(2)、芯层(13)和上包层(12)组成，其特征在于：下包层(2)和上包层(12)以及芯层(13)均是有机聚合物材料，芯层(13)的折射率大于下包层(2)和上包层(12)，有机聚合物为含氟聚酯，其通式如(I)所示： -[O-R<sub>1</sub>]<sub>m</sub>-[O-R<sub>2</sub>]<sub>n</sub>-[O-R<sub>3</sub>]<sub>1</sub>-[O-R<sub>4</sub>]<sub>g</sub>- (I)式中，m、n、l、g均为整数，m∶(n+l+g)＝1∶1，其中l，g≥0；R<sub>1</sub>、R<sub>2</sub>、R<sub>3</sub>、R<sub>4</sub>的含义如(II)、(III)、(IV)、(V)所示：<img file="C031271710002C1.GIF" wi="1672" he="659" />在通式(I)中，芯层(13)的g值大于下包层(2)、上包层(12)的g值。 | ||
| 地址 | 130023吉林省长春市朝阳区解放大路119号 | ||