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发明名称
摘要
申请公布号 JP3734994(B2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 JP19990370055 申请日期 1999.12.27
申请人 发明人
分类号 G01R1/06;H01L21/66;G01R31/302;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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