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发明名称 METHODS AND APPARATUS FOR CONTROLLING FORMATION OF DEPOSITS
摘要
申请公布号 EP1613791(A2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 EP20040809290 申请日期 2004.02.19
申请人 CREE, INC. 发明人 SUMAKERIS, JOSEPH JOHN;PAISLEY, MICHAEL JAMES;O'LOUGHLIN, MICHAEL, JOHN
分类号 C23C16/455;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/455
代理机构 代理人
主权项
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