发明名称 Measuring method of piezoelectric displacement by making use of laser interferometer and laser interferometer for making the same
摘要 <p>Pri zpusobu merení piezoelektrického posunutí vzorku pomocí laserového interferometru se cást interferometru, ve které paprsky procházejí odlisnými drahami a kde je umísten merený vzorek pevne umístído nádoby s regulací teploty prostredí. Nastavujíse ruzné teploty a pomocí laserového interferometru se odecítají velikosti posunu mereného vzorku. Velikosti posunu se prevedou na piezoelektrickou konstantu mereného materiálu. Laserový interferometr k provádení merení obsahuje laser, na jehoz výstupu je na spolecné optické ose umístena pulvlnová desticka (2), polarizovaný delic (3) a první cvrtvlnová desticka (4). Na spolecné optické ose je za první ctvrtvlnovou destickou (4) umísteno první zrcadlo (5) a kolmo na tuto optickou osu v míste polarizovaného delice (3) je souose s tímto polarizovým delicem (3) z jedné jeho strany umístena druhá ctvrtvlnová desticka (7), za kterou je umísteno druhé zrcadlo (8). Z druhé strany polarizovaného delice (3) je zarazen optický kompenzátor (9), za nímpolarizátor (10) a za ním detektor (11). Merený vzorek (6) lezí na spojnici mezi prvním a druhým zrcadlem (5,8).</p>
申请公布号 CZ296137(B6) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 CZ19990004400 申请日期 1999.12.07
申请人 发明人
分类号 G01P13/00;G01S17/02 主分类号 G01P13/00
代理机构 代理人
主权项
地址