| 发明名称 | 全氟化合物废气加强处理系统 | ||
| 摘要 | 一种全氟化合物废气加强处理系统。为提供一种能去除废气中夹带的全氟化合物、降低对环境污染、适用范围广的半导体制造辅助设备，提出本发明，它设置于废气处理设备的一侧；其包含基台本体及设置于基台本体外部的进、排气管；进气管与废气处理设备连接；排气管接设用以将基台本体内部的气体排出的抽气单元；基台本体内部设有集水箱、与基台本体外部进气管连接的前段冷凝管、触媒处理单元、水处理单元及与基台外部的排气管连接的后段冷凝管；集水箱包括与前段冷凝管及触媒单元连接连接的第一集水箱及与水处理单元及后段冷凝管连接的第二集水箱；触媒单元与水处理单元之间以管路连接。 | ||
| 申请公布号 | CN1718273A | 申请公布日期 | 2006.01.11 |
| 申请号 | CN200410062366.8 | 申请日期 | 2004.07.06 |
| 申请人 | 陈怡蓉 | 发明人 | 陈怡蓉 |
| 分类号 | B01D53/68(2006.01);B01D53/86(2006.01);B01D53/77(2006.01) | 主分类号 | B01D53/68(2006.01) |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 刘领弟 |
| 主权项 | 1、一种全氟化合物废气加强处理系统，它设置于废气处理设备的一侧；其特征在于它包含基台本体及设置于基台本体外部的进、排气管；进气管与废气处理设备连接；排气管接设用以将基台本体内部的气体排出的抽气单元；基台本体内部设有集水箱、与基台本体外部进气管连接的前段冷凝管、触媒处理单元、水处理单元及与基台外部的排气管连接的后段冷凝管；集水箱包括与前段冷凝管及触媒单元连接连接的第一集水箱及与水处理单元及后段冷凝管连接的第二集水箱；触媒单元与水处理单元之间以管路连接。 | ||
| 地址 | 台湾省台北县 | ||