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发明名称
MANUFACTURING METHOD FOR SEMICONDUCTOR DEVICE AND APPARATUS FOR MANUFACTURING THE SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号
KR100542777(B1)
申请公布日期
2006.01.11
申请号
KR20010002839
申请日期
2001.01.18
申请人
发明人
分类号
H01L21/31;C23C16/02;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/316
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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