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经营范围
发明名称
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTION A DEFECT
摘要
申请公布号
KR100542747(B1)
申请公布日期
2006.01.11
申请号
KR20030053537
申请日期
2003.08.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/66;G01N21/00;G01N21/55;G01N21/95
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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