发明名称 Nano-slide integrated Nano-probe array
摘要
申请公布号 KR100542654(B1) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 KR20030030357 申请日期 2003.05.13
申请人 发明人
分类号 H01J37/28 主分类号 H01J37/28
代理机构 代理人
主权项
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