| 发明名称 | 通过累积方法检漏的方法和装置 | ||
| 摘要 | 提供了用于通过累积方法检漏的方法和装置。该装置包括：被配置来接收试件(12)的可密封室(10)，其中试件在处于室中时包含示踪气体；与该室气体连通的示踪气体可透过构件(30)；和与可透过构件气体连通的示踪气体传感器(20)，该示踪气体传感器被配置来感测从该室穿过可透过构件的示踪气体。可透过构件可以是石英。示踪气体传感器可以包括离子泵。 | ||
| 申请公布号 | CN1720434A | 申请公布日期 | 2006.01.11 |
| 申请号 | CN200480001645.1 | 申请日期 | 2004.06.09 |
| 申请人 | 瓦里安有限公司 | 发明人 | 查尔斯·伯金斯;彼得·N·帕伦斯蒂恩 |
| 分类号 | G01M3/20(2006.01);G01M3/32(2006.01) | 主分类号 | G01M3/20(2006.01) |
| 代理机构 | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 王怡 |
| 主权项 | 1.一种用于检漏的装置，包括：可密封室，被配置以接收试件，所述试件当处于所述室中时包含示踪气体；示踪气体可透过构件，被安装为与所述室的气体连通；和示踪气体传感器，与所述可透过构件气体连通，并且被配置以感测从所述室穿过所述可透过构件的示踪气体。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||