适用SAW器件的纳米金刚石膜及制备方法与用途

摘要

本发明公开了一种适用SAW器件的纳米金刚石薄膜及制备方法与用途，这种利用微波等离子化学气相沉积法制备的C－轴取向的金刚石纳米膜，膜厚6μm，晶粒度为：200－250nm，sp³成分≥90％，满足波长λ≤4μm高频声表面波传播条件。本发明纳米金刚石膜具有C－轴择优取向，平整光滑，具有一定厚度，结晶度好。该薄膜可满足纳米金刚石薄膜领域的应用需求，用射频离子溅射可制备出C－轴取向的压电薄膜，例如高频、大功率声表面波(SAW)器件等。经使用HP8712ET网络分析仪测量SAW滤波器中心频率，当IDT指宽为d＝1.7μm时，SAW滤波器中心频率可达到1.75GHz。

主权项

1 一种适用SAW器件的纳米金刚石膜，其特征在于所说的金刚石膜全部膜厚15-20μm，其上部定向生长C-轴取向的金刚石纳米膜，膜厚6μm，晶粒度为：200-250nm，sp3成分≥90％，满足波长λ≤4μm高频声表面波传播条件。