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发明名称 HIGH FREQUENCY PLASMA JET SOURCE AND METHOD FOR IRRADIATING A SURFACE
摘要
申请公布号 EP1614138(A2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 EP20040726483 申请日期 2004.04.08
申请人 LEYBOLD OPTICS GMBH 发明人 BECKMANN, RUDOLF
分类号 H01J37/32;H05H1/54;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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