High numerical aperture ring field optical reduction system,申请号EP19960118465-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	High numerical aperture ring field optical reduction system
摘要
申请公布号	EP0779528(B1)	申请公布日期	2006.01.11
申请号	EP19960118465	申请日期	1996.11.18
申请人	ASML HOLDING N.V.	发明人	WILLIAMSON, DAVID M.
分类号	G02B17/08;G02B17/06;G03F7/20;H01L21/027	主分类号	G02B17/08
代理机构		代理人
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