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发明名称
摘要
申请公布号 JP3733021(B2) 申请公布日期 2006.01.11
申请号 JP20000382020 申请日期 2000.12.15
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065;C23F4/00;H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L21/768 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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