| 发明名称 | 微腔体四极质谱管 | ||
| 摘要 | 微腔体四极质谱管涉及对微波器件、阴极射线管(CRT)、场发射器件、光源等电真空器件进行残余气体分析的四极质谱管，包括四极质量分析器，离子源，离子检测器，其特征是：采用陶瓷金属化四极质量分析器(1)，其中，瓷管(1.2)作为真空外壳，瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆(1.3)，在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5)以避免电荷积累，金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2)中的金属化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔体外，四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2)和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属－陶瓷的真空密封连接。 | ||
| 申请公布号 | CN2751434Y | 申请公布日期 | 2006.01.11 |
| 申请号 | CN200420080549.8 | 申请日期 | 2004.10.27 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 张晓兵;毛福明 |
| 分类号 | H01J49/26(2006.01) | 主分类号 | H01J49/26(2006.01) |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 叶连生 |
| 主权项 | 1.一种微腔体四极质谱管，包括四极质量分析器，离子源，离子检测器，其特征是：采用陶瓷金属化四极质量分析器(1)，其中，瓷管(1.2)作为真空外壳，瓷管(1.2)内腔设有四极质量分析器的四根极杆(1.3)，在四极质量分析器(1)的两端面也设有金属化导电层(1.5)以避免电荷积累，金属电极引针(1.6)从金属化导电层(1.5)或四根极杆(1.3)内表面通过瓷管(1.2)中的金属化孔(1.7)引出到真空瓷管(1.2)腔体外，四极质量分析器(1)的瓷管(1.2)与离子源(2)和离子检测器(3)的真空腔体之间的连接为金属-陶瓷的真空密封连接； | ||
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||