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发明名称 LIQUID COMPOSITION FOR IMMERSION LITHOGRAPHY AND LITHOGRAPHY METHOD USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060002457(A) 申请公布日期 2006.01.09
申请号 KR20040051503 申请日期 2004.07.02
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, SUNG KOO;JUNG, JAE CHANG
分类号 G03F7/004;G03F7/20 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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