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发明名称 COOLING WATER CONTROL SYSTEM FOR SEMICONDUCTOR DIFFUSION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060002430(A) 申请公布日期 2006.01.09
申请号 KR20040051464 申请日期 2004.07.02
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KYUNG HYUNG
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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