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发明名称
METHOD FOR CLEANING SEMICONDUCTOR DEVICE USING LASER
摘要
申请公布号
KR20060002050(A)
申请公布日期
2006.01.09
申请号
KR20040050942
申请日期
2004.07.01
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
KIM, CHAN BAE
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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