发明名称 THE PLASMA ETCHING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060001137(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040050169 申请日期 2004.06.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KANG, SANG WOO
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
地址