发明名称 VACUUM EXHAUST EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060001707(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040050864 申请日期 2004.06.30
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG HWAN
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址