发明名称 MANUFACTURING PROCESS FOR PHOTOMASK
摘要
申请公布号 KR20060001419(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040050541 申请日期 2004.06.30
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 LEE, JUN SIK
分类号 G03F1/68;G03F1/26;G03F1/76;G03F1/82 主分类号 G03F1/68
代理机构 代理人
主权项
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