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发明名称
A METHOD OF FABRICATING THIN FILM TRANSISTOR USING METAL INDUCED LATERAL CRYSTALLIZATION (MILC) BY ETCHSTOP PROCESS
摘要
申请公布号
KR20060001119(A)
申请公布日期
2006.01.06
申请号
KR20040050148
申请日期
2004.06.30
申请人
NEO POLY INC.
发明人
PAIK, WOON SUH
分类号
H01L21/336
主分类号
H01L21/336
代理机构
代理人
主权项
地址
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