发明名称 FABRICATION OF SINGLE ELECTRON TRANSISTORS USING COMPOUND SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 KR20060001985(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20050128341 申请日期 2005.12.23
申请人 HWANG, SUNG WOO 发明人 SON, SEUNG HUN;HWANG, SUNG WOO;AHN, DO YEOL
分类号 H01L21/18 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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