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发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 KR20060000588(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20040049500 申请日期 2004.06.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 AHN, BYUNG HO;LEE, JAE CHUL;IM, KI VIN;KIM, KYOUNG SEOK;JOO, YONG KYU
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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