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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING ELECTRON DENSITY OF PLASMA AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060001944(A) 申请公布日期 2006.01.06
申请号 KR20050125316 申请日期 2005.12.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/66;H05H1/00;C23C16/52;C23F4/00;G01N23/00;H01J37/32;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/461;H05H1/46 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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