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Es wird ein Verfahren zum Kalibrieren eines Sensorelements für eine Grenzstromsonde angegeben, die eine Pumpzelle mit zwei Pumpelektroden (18, 19) aufweist, von denen eine innere Pumpelektrode (18) durch eine poröse Diffusionsbarriere (21) vom Messgas abgeschirmt ist. Zum hochgenauen Abgleich des Diffusionswiderstand der Diffusionsbarriere (21) auf einen Vorgabewert wird bei der Fertigung des Sensorelements die Diffusionsbarriere (21) mit einem solchen Diffusionswiderstand ausgelegt, dass bei Einhaltung aller Fertigtoleranzen am endgefertigten und gesinterten Sensorelement ein unter einem Vorgabewert liegender Grenzstrom über die Pumpzelle fließt. Durch gerichtetes Mikrosandstrahlen der Diffusionsbarriere (21) wird deren Diffusionswiderstand auf den für den Vorgabewert des Grenzstroms erforderlichen Wert reduziert (Fig. 1).
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