发明名称 Baugruppe aus einem optischen Element und einer Fassung
摘要
申请公布号 DE50011732(D1) 申请公布日期 2006.01.05
申请号 DE20005011732 申请日期 2000.06.15
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 TRUNZ, MICHAEL;GELLRICH, BERNHARD;GISCHA, ROLAND;HOLDERER, HUBERT;ROESCH, CORNELIA
分类号 G02B7/02 主分类号 G02B7/02
代理机构 代理人
主权项
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