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经营范围
发明名称
Doppelseitenreinigungsmaschine für Halbleitersubstrat
摘要
申请公布号
DE69832554(D1)
申请公布日期
2006.01.05
申请号
DE19986032554
申请日期
1998.05.14
申请人
KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI
发明人
MIYASHITA, NAOTO;ABE, MASAHIRO
分类号
B08B1/04;H01L21/00;H01L21/304
主分类号
B08B1/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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