发明名称 Verfahren zur Bildung eines Übergangs in Fremdionengebieten einer EEPROM-Flashzelle mittels Schrägwinkel-Fremdionen-Implantation
摘要
申请公布号 DE19621753(B4) 申请公布日期 2006.01.05
申请号 DE19961021753 申请日期 1996.05.30
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. 发明人 LEE, HEE YOUL
分类号 H01L21/265;H01L21/8247;H01L21/8252;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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