| 发明名称 |
GERÄT UND VERFAHREN ZUR STEUERUNG EINER STRAHLFORM IN LITHOGRAPHIE SYSTEMEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69928649(D1) |
申请公布日期 |
2006.01.05 |
| 申请号 |
DE19996028649 |
申请日期 |
1999.09.22 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
BOEGLI, VOLKER;RISHTON, A.;VENEKLASEN, H. |
| 分类号 |
G03F7/20;H01J37/09;H01J37/147;H01J37/302;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/027 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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