| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR ABSCHEIDUNG UND POLIERUNG DER OBERFLÄCHE EINER HALBLEITERSCHEIBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60018553(T2) |
申请公布日期 |
2006.01.05 |
| 申请号 |
DE2000618553T |
申请日期 |
2000.10.02 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V., EINDHOVEN |
发明人 |
ZHANG, LIMING |
| 分类号 |
B24B37/04;C25D5/22;C25D7/12;C25D21/10;H01L21/288;H01L21/304;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/768;H01L23/52 |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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