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发明名称
摘要
申请公布号	JP3117331(U)	申请公布日期	2006.01.05
申请号	JP20050008118U	申请日期	2005.10.03
申请人		发明人
分类号	C23C16/455;H01L21/205;(IPC1-7):H02H7/122;H02M7/48	主分类号	C23C16/455
代理机构		代理人
主权项
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