镀膜设备

摘要

一种镀膜设备，包括一动力单元、一传动机构、一监控机构、一基板承载机构及一镀膜源。其中，动力单元具有一旋转轴心；传动机构包括一第一齿轮及一第二齿轮，且第一齿轮轴设于旋转轴心，第二齿轮与第一齿轮相啮合，第二齿轮的具有一第一开口；监控机构具有至少两个测试组件；基板承载机构连设于第二齿轮且具有一第二开口，第二开口与第一开口相对而设，监控机构穿设于第一开口及第二开口中；镀膜源与基板承载机构及测试组件相对而设。

主权项

1.一种镀膜设备，其特征在于包含：一动力单元，其具有一旋转轴心；一传动机构，其包含一第一齿轮及一第二齿轮，该第一齿轮轴设于该旋转轴心，该第二齿轮与该第一齿轮相啮合，该第二齿轮的中央具有一第一开口；一监控机构，其具有至少两个测试组件，且该监控机构穿设于该第一开口；一基板承载机构，其连设于该第二齿轮且具有一第二开口，该第二开口与该第一开口相对而设，该监控机构穿设于该第二开口；以及一镀膜源，其与该基板承载机构及这些测试组件相对而设，其中这些测试组件与该镀膜源的相对位置，与该基板承载机构所承载的基板与该镀膜源的相对位置相近似。