基于双氧水分解的微氧气泵制造方法

摘要

一种微电子机械系统领域的基于双氧水分解的微氧气泵制造方法，通过快速原型技术得到微复制模板，通过浇铸硅橡胶材料得到包含有泵腔结构和微通道的硅橡胶基底，同时利用刻蚀－剥离工艺得到包含有加热电极和传感电极的玻璃基片，最后用紫外光照射来封装硅橡胶基底与玻璃基片。本发明所制备的微氧气泵具有开启能耗低、连续驱动能力强、能产生相对较大的压力，克服了前述热气泵存在的驱动能力不强、驱动压力过小的缺点。而且，材料选用价格低廉的普通玻璃和高分子材料，进一步降低了制造成本，有利于促进单片型微流体系统的发展。

主权项

1、一种基于双氧水分解的微氧气泵制造方法，其特征在于，通过快速原型技术得到微复制模板，通过浇铸硅橡胶材料得到包含有泵腔结构和微通道的硅橡胶基底，同时利用刻蚀-剥离工艺得到包含有加热电极和传感电极的玻璃基片，最后用紫外光照射来封装硅橡胶基底与玻璃基片。