| 发明名称 |
DETECTION METHOD AND APPARATUS FOR METAL PARTICULATES ON SEMICONDUCTORS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1611431(A1) |
申请公布日期 |
2006.01.04 |
| 申请号 |
EP20040726541 |
申请日期 |
2004.04.08 |
| 申请人 |
AOTI OPERATING COMPANY, INC. |
发明人 |
HIGGS, VICTOR |
| 分类号 |
G01N21/64;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/64;G01R31/265 |
主分类号 |
G01N21/64 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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