液晶显示装置基板的制造方法

摘要

本发明涉及一种液晶显示装置基板的制造方法，包括以下步骤：(a)提供具有透明电极层和金属层的基板；(b)进行部分显影；(c)蚀刻光刻胶层以及具有透明电极层和金属层的基板，分别定义信号扫描线和薄膜二极管区域，以及像素区和电极导线，并且薄膜二极管区域具有间隙；以及(d)在金属层的部分表面上形成氧化层，并且氧化层填满薄膜二极管区域的间隙；本发明提供一种液晶显示装置基板的制造方法，利用一道掩膜板的光刻、蚀刻等图案化(Patterning)工艺，来完成液晶显示装置基板的制造，可同时得到提高优良率和产能的效果。

主权项

1、一种液晶显示装置基板的制造方法，包括以下步骤：(a)提供具有透明电极层和金属层的基板，并且所述透明电极层位于所述金属层和所述基板之间；(b)形成具有图样的光刻胶层，并且该光刻胶层具有至少第一厚度和第二厚度；(c)蚀刻该光刻胶层以及具有透明电极层和金属层的所述基板，分别定义信号扫描线和薄膜二极管区域，以及像素区和电极导线，其中所述薄膜二极管区域包含所述透明电极层以及所述金属层，并且所述薄膜二极管区域具有间隙；以及(d)在所述金属层的部分表面上形成氧化层，并且所述氧化层填满所述薄膜二极管区域的所述间隙。