组合有双层线圈型天线的感应耦合式等离子发生设备

摘要

本发明提供了一种感应耦合式等离子体(ICP)发生设备。该设备包括被抽成真空的反应室；天线系统，安装在反应室的上部以感生一个电场，使供给到反应室中的反应气体电离并产生等离子体；和连接到天线系统的RF电源，对天线系统提供RF电源。天线系统包括一个邻近于反应室的上部安装的下天线和一个安装在下天线之上预定位置的上天线。上、下天线分别包括一个放置成与反应室内的衬底的边缘部分对应的外天线和一个放置在外天线以内形成预定间隔的内天线。在本发明的ICP发生设备中，可以通过调节上天线或者内天线的位置来控制反应室内衬底周围的等离子体密度的均匀性。

主权项

1.一种感应耦合式等离子体发生设备，包括：被抽空的反应室；天线系统，安装在反应室的上部以感生一个电场，使供给反应室中的反应气体电离并产生等离子体；和连接到天线系统的RF电源，对天线系统提供RF电源，其中，天线系统包括一个邻近于反应室的上部安装的下天线和一个安装在下天线之上预定距离的上天线。