| 发明名称 |
A SCATTEROMETER AND A METHOD FOR OBSERVING A SURFACE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1611430(A1) |
申请公布日期 |
2006.01.04 |
| 申请号 |
EP20040712130 |
申请日期 |
2004.02.18 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
WADMAN, SIPKE |
| 分类号 |
G01B11/30;G01N21/47;(IPC1-7):G01N21/47 |
主分类号 |
G01B11/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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