| 发明名称 | 用于清除和清洗的组合物及其用途 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种能够从物品上去除残余物如光致抗蚀剂和/或蚀刻残余物的组合物，其包括含有二醇醚的一种或多种水溶性有机溶剂；水；含氟化合物，条件是如果含氟化合物为氟化铵则没有其它的含氟化合物添加到该组合物中；和任选的季铵化合物；以及任选的腐蚀抑制剂。还公开了一种利用在此公开的组合物从物品上去除残余物的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1715389A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200510089699.4 | 申请日期 | 2005.07.01 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | M·I·埃格贝;M·勒根扎;T·维伊德;J·M·里克 |
| 分类号 | C11D7/22(2006.01);G03F7/42(2006.01) | 主分类号 | C11D7/22(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 郭广迅;赵苏林 |
| 主权项 | 1、一种用于从物品上去除残余物的组合物，该组合物包括：含有二醇醚的至少一种水溶性有机溶剂；水；含氟化合物，条件是如果含氟化合物为氟化铵时则没有其它的含氟化合物添加到该组合物中；以及任选的季铵化合物。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||