基板处理装置

摘要

本发明提供的基板处理装置具有：多个处理室(20)，用于对容纳在其内部的基板实施处理；运送箱(24)，用于将容纳的基板运送至处理室(20)；移动机构，用于使运送箱(24)沿着移动线路进行移动。运送箱(24)在被从外部气氛隔离开的状态下容纳基板。多个处理室(20)以排列在运送箱(24)的移动线路的两侧的状态而配置，运送箱(24)与被排成两列而配置的处理室(20)的运送口(20a)相对应地具有两个运送口(24a)。

主权项

1.一种基板处理装置，具有：多个处理室，用于对容纳在其内部的基板实施处理；运送箱，在被从外部气氛隔离的状态下容纳基板，并将容纳的基板运送至所述处理室；移动机构，使所述运送箱沿着移动线路移动；所述基板处理装置的特征在于，所述多个处理室以排列在所述运送箱的移动线路两侧的状态被配置，所述运送箱与排成两列而配置的所述处理室的基板搬入、搬出口相对应地具有两个基板搬入、搬出口。