平台装置与曝光装置,以及元件制造方法

摘要

本发明是有关于一种平台装置与曝光装置，以及元件制造方法。该平台(RST)，是一面浮动于平板的上方一面支撑光栅，并可移动于二维面内的三自由度方向，框状构件是以浮动于平板的上方可移动于二维面内的三自由度方向。在框状构件设置第一定子(136₁～138₂)、第二定子(140₁、140₂)，在平台设第一可动元件、第二可动元件以与第一定子、第二定子个别协动以产生使平台于二维面内驱动的驱动力。因此，由平台的驱动的反力作用于第一或第二定子，由此反力框状构件大略依照动量守恒定律在二维面内移动。藉此，由平台的移动的反力可大略完全加以消除的同时，不产生包含平台及框状构件系统的重心移动的关系，偏负载亦不会作用在平板。

主权项

1、一种平台装置，其特征在于其包括：平板；滑块，一面在前述平板的上方浮动一面支撑物体并可以沿前述平板移动于包含第一轴及与前述第一轴直交的第二轴的二维面内的三自由度方向；框状构件，一面在前述平板的上方浮动至少具有前述二维面内的三自由度，并围绕前述滑块；第一驱动机构，包含设在前述框状构件的第一定子、以及与前述第一定子协动以产生使前述滑块于前述第一轴方向驱动的驱动力的第一可动元件；以及第二驱动机构，包含设在前述框状构件的第二定子、以及与前述第二定子协动以产生使前述滑块于前述第二轴方向驱动的驱动力的第二可动元件。