发明名称 衬底以及将部件与衬底分离的方法
摘要 一种衬底(1)具有第一槽(4),该衬底设置有在第一槽(4)上的突起部(3)。该突起部(4)最好具有一个顶角在30至150度之间的顶部,并且该突起部导致衬底(1)的断裂受控制,并使由于在突起部(4)处开始的裂纹的偏离而造成的损失最小化。
申请公布号 CN1234515C 申请公布日期 2006.01.04
申请号 CN02801927.X 申请日期 2002.05.27
申请人 皇家菲利浦电子有限公司 发明人 P·C·P·布藤;F·H·因特维尔德;R·M·H·G·维伦斯
分类号 B28D5/00(2006.01);H01L21/78(2006.01);C03B33/07(2006.01);C03B33/08(2006.01) 主分类号 B28D5/00(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 崔幼平;章社杲
主权项 1.一种具有第一面(11)和第二面(12)及厚度(20)的衬底(1),该衬底(1,101)在其第一面(11)上设置有第一槽(4),该槽相对于该第一面(11)具有深度(24),其特征在于,该第一槽(4)具有在起始点(19)中的突起部(3),以用于形成裂纹。
地址 荷兰艾恩德霍芬