| 发明名称 | 结晶方法及其装置 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种在基板上结晶非晶硅薄膜的方法，包括在工作台上加载一基板，在该基板上具有非晶硅薄膜并具有第一和第二区域，通过在非晶硅薄膜的第一区域照射激光束执行第一结晶过程，通过以第一距离移动工作台对第一区域结晶，并通过在第二区域照射激光束执行第二结晶过程，通过以第二距离移动工作台对第二区域进行结晶。 | ||
| 申请公布号 | CN1716529A | 申请公布日期 | 2006.01.04 |
| 申请号 | CN200510077525.6 | 申请日期 | 2005.06.17 |
| 申请人 | LG.菲利浦LCD株式会社 | 发明人 | 俞载成 |
| 分类号 | H01L21/00(2006.01);H01L21/20(2006.01);H01L21/268(2006.01);G02F1/136(2006.01);C30B13/22(2006.01) | 主分类号 | H01L21/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人 | 徐金国;梁挥 |
| 主权项 | 1、一种在基板上结晶非晶硅薄膜的方法，包括：在工作台上加载一基板，在该基板上具有非晶硅薄膜并具有第一区域和第二区域；通过在所述非晶硅薄膜的第一区域照射激光束执行第一结晶过程，通过以第一距离移动工作台对第一区域结晶；以及通过在第二区域照射激光束执行第二结晶过程，通过以第二距离移动工作台对第二区域结晶。 | ||
| 地址 | 韩国首尔 | ||