发明名称 |
光学镀膜装置 |
摘要 |
一种光学镀膜装置,其包括一镀膜室、一承载架、一挡流板及一蒸镀源,该挡流板位于该承载架与该蒸镀源之间,该挡流板可伸展,且该挡流板的展开角度可调节。本实用新型的光学镀膜装置由于不需要直接修正挡流板的几何形状,因此降低镀膜成本、镀膜程序简单、容易实现镀膜均匀性。 |
申请公布号 |
CN2750327Y |
申请公布日期 |
2006.01.04 |
申请号 |
CN200420095699.6 |
申请日期 |
2004.11.20 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
林志泉 |
分类号 |
G02B1/10(2006.01);C23C14/00(2006.01) |
主分类号 |
G02B1/10(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种光学镀膜装置,其包括镀膜室、承载架、挡流板及蒸镀源,其特征在于,该承载架、挡流板及蒸镀源皆设在镀膜室内,其中,该挡流板位于承载架与蒸镀源之间,其可根据要求按任一角度展开。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |