发明名称 半导体激光器安装对准和校准的方法
摘要 一种半导体激光器安装对准的方法,包括如下步骤:把烧结上激光器管芯的TO管壳固定在支架上,TO管壳的底平面贴紧支架以保证TO管壳的中心轴方向为y方向;用一支准直的可见光激光器以与y方向成θ角的方向,照射在半导体激光器芯片的晶体自然解理面(即激光器的出射腔面)上;在距离激光器出光腔面为D的地方固定一把尺子,使半导体激光器腔面反射的光会在尺子上显现出一个光点;在激光器出光腔面与管壳的中心轴垂直时,通过公式计算出尺子上的光点与反射的光点的距离;通过测量距离E,就可测量出激光器发光方向与TO管壳的中心轴的角度偏差a。
申请公布号 CN1235014C 申请公布日期 2006.01.04
申请号 CN03131004.4 申请日期 2003.05.14
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 赵玲娟;边静;王圩;朱洪亮
分类号 G01B11/27(2006.01);G02B6/42(2006.01) 主分类号 G01B11/27(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 汤保平
主权项 1、一种半导体激光器安装对准的方法,其特征在于,包括如下步骤:1)把烧结上激光器管芯的TO管壳固定在固定支架上,TO管壳的底平面贴紧固定支架以保证TO管壳的中心轴方向为y方向;2)用一支准直的可见光激光笔以与y方向成θ角的方向,照射在半导体激光器芯片的晶体的出光腔面上;3)在距离激光器出光腔面为D的地方固定一把尺子,使半导体激光器出光腔面反射的光会在尺子上显现出一个光点A2;4)在激光器出光腔面与管壳的中心轴垂直时,可以确定基准点A1,该基准点A1的确定包括:a)取一块镜片,固定在TO管壳支架上;b)镜片的平面与固定支架上与TO管壳底面的接触面平行,且使反射面与激光器的出光腔面在一个平面上,反射镜反射的光点即为A1点,注意该方法以固定支架上与TO管底面的接触面为基准面,故该接触面要平滑且与TO管壳底面及订标的反射镜面紧密接触;5)通过测量A1与A2之间的距离E,就可计算出激光器发光方向与TO管壳的中心轴的角度偏差a;从反射光点的在z方向上的位置移动,可以判断激光器管芯在z方向的角度偏差;同理,从反射光点在x方向上的位置移动,亦可以判断激光器管芯在x方向的角度偏差。
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